[IMID/IDMC 2006]소재·장비-선익시스템

　선익시스템(대표 이응직 http://www.sunic.co.kr)은 OLED 장비 전문 업체로 해외 수출을 확대하면서 일본 업체들과 전면전을 벌이고 있다. 올해 IMID 행사에도 대면적 OLED 생산을 위한 첨단 장비를 대거 선보인다.

이 회사의 ‘SUNICEL Plus 400’는 370×470㎜ 패널을 대량 생산하기 위한 장비다. 산화인듐(ITO) 유리 기판의 표면에 유기막층과 금속전극층을 증착하고 보호막층을 증착시키는 클러스터 툴 타입의 시스템이다. 이 장비는 작업 시간이 짧고 막 균일도가 우수하며 비전시스템에 의한 고속 고정밀 마스크 정렬이 가능하다. 현재 OLED 양산을 목적으로 하는 패널 제작 업체에 공급되고 있다.

또 선익시스템은 풀 컬러 200×200㎜ 패널 생산을 위한 ‘SUNICEL Plus 200’ 제품도 선보인다. 이 장비는 증착 공정이 완전 자동화됐으며 8개의 공정모듈을 장착할 수 있다. 자체 개발한 기술을 바탕으로 정밀도 5㎛ 이하의 자동 정렬 장치를 장착해 양산성과 자동화를 해결한 것이 특징이다. 색상을 나타내는 적녹청(RGB)의 형광체를 증착하기 위한 기판과 마스크를 정밀 정렬하는 기술은 OLED 장비의 핵심기술이다. 현재 패널 제작업체를 비롯, OLED 물질 개발 업체와 연구소 등에 단위공정 개발 및 준양산용으로 공급되고 있다.

1990년 설립된 선익시스템은 전자부품 및 반도체 소자 생산용 스퍼터와 MOCVD, 증착 및 식각 장비를 생산하는 장비 전문회사다. 2000년부터 기존 반도체용 장비 등에 적용했던 초미세화 공정기술을 바탕으로 OLED 장비 개발에 착수, 현재 국내 OLED 장비 간판회사로 평가받고 있다.

연구용에서 파일럿, 양산용 대면적 장비에 이르기까지 50여대의 OLED 장비를 국내 유수 패널 제조업체 및 대학과 연구소 등에 납품했으며 해외에는 프랑스 톰슨과 대만 옵토테크, 중국 SVA, 닝보베스트위닝 등에 공급한 바 있다.

선익시스템은 지난해 미래에셋 PEF를 중심으로 한 미래컨소시엄에서 80여억원의 투자유치를 받아 4세대 이상 대면적 OLED 양산장비의 R&D·생산에 박차를 가하고 있다.