[IMID/IDMC 2006]소재·장비-케이씨텍

　케이씨텍(대표 고석태·이순창 http://www.kctech.co.kr)은 반도체 및 FPD 장비 산업 분야의 국내 대표 기업으로 LCD 전공정 장비인 웻스테이션과 반도체·LCD 공정에 초고순도 가스를 공급해주는 가스캐비닛, LCD 패널 제조공정용 자동화 장비인 FAS 등을 생산하고 있다.

　특히 올해에는 국내 최초로 개발한 LCD 제조공정의 핵심 장비인 스핀리스 코터와 반도체용 300㎜ 웨이퍼 세정기를 고객사에 신규로 공급함으로써 부가가치가 더 큰 제품군으로 라인업을 확대하고 있다. 올해 IMID 전시회에서는 디스플레이 분야의 전공정 장비인 스핀리스 코터와 웻스테이션, APP세정기, 이산화탄소 세정기, 가스캐비닛, 드라이펌프 등을 소개한다.

　케이씨텍이 국내 장비 업계 최초로 개발 완료한 스핀리스 코터는 감광액을 유리기판에 코팅하는 장비로 LCD 전공정 핵심 장비로 손꼽히고 있다. 케이씨텍은 6세대급 이상의 대형화된 LCD 유리기판에 적용되는 스핀리스 코팅 방식을 채택해 포토레지스트 사용량 절감을 통해 고객사의 비용 절약을 가능케 했으며 스핀리스 코팅의 핵심인 균일도를 세계 최고 수준으로 향상시켰다.

　웻스테이션은 LCD 제조 전공정상에서 현상 및 식각, 박리, 세정 기능을 담당하는 제품으로 안전성·청결성·유지 편리성에서 최고의 성능을 자랑하고 있다. 자동·반자동·수동 등 모든 타입의 시스템 주문 제작이 가능하며 국내뿐 아니라 대만과 중국 등에서도 빠른 신장세를 보이고 있다.

　APP세정기는 진공에서만 쓰이던 플라즈마를 대기압에서 처리할 수 있게 한 것이 특징이다. 세정 전이나 코팅 전 전처리에 사용되며, 탁월한 표면개질 특성을 통해 접착력 향상과 유기물 제거, 친수력 증가 효과에 뛰어난 건식세정 모듈이다. 또 이산화탄소 세정기는 드라이아이스를 이용해 청정 정밀 세정 공정에 사용되는 제품이다. 가스캐비닛과 드라이펌프도 디스플레이 기판 대형화와 함께 제조 공정에서 중요성이 커지고 있다.