초소형 가속도 센서 대량 생산

　멤스(MEMS) 기술을 적용한 초소형 가속도 센서가 대량 생산된다.

서울대 교내 벤처기업인 SML전자(대표 조동일·사진 http://www.sml-electro.com)는 좌우(x축)·위아래(y축)·앞뒤(z축) 3축의 가속도를 동시에 측정할 수 있는 멀티센서를 6.5×7.5×1.1㎜의 초박형으로 개발해 오는 12월 대량생산에 들어간다고 밝혔다.

가속도 센서는 움직이는 물체의 가속도나 방향을 측정할 수 있는 점 때문에 로봇이 자신의 위치나 동작을 인식하는 데 주로 쓰이며 자동차·모바일 기기 등에도 수요가 급증하고 있다.

SML전자는 매그나칩반도체·앰코 등 기업과의 협력과 정보통신부 지능형 로봇사업의 지원으로 개발, 오는 12월 8인치 팹에서 월 100만대 수준의 양산에 들어갈 계획이라고 설명했다.

회사측은 자동차용 가속도 센서도 시제품 단계에 근접해 내년 양산을 목표로 하는 등 로봇·자동차·휴대형 기기 시장에 2010년 총 2300억원의 수입대체 효과와 1000억원의 수출을 목표로 하고 있다고 밝혔다.

조동일 사장(서울대 전기공학부 교수)은 “반도체 제조기술을 기반으로 하기 때문에 대량생산이 용이하며 사용범위 정밀도 등 센서의 사양을 사용자의 필요에 맞도록 제품군을 개발할 수 있어 저사양·저가형 제품부터 고사양 고부가가치의 프리미엄 제품에 이르기까지 다양화할 수 있다”며 “이번에 개발한 멤스 관성 센서는 취약한 (로봇분야) 부품소재 산업 활성화의 원동력이 될 것”이라고 말했다. 　 김용석기자@전자신문, yskim@