[다시 뛴다! 반도체 코리아]장비-주성엔지니어링

주성엔지니어링(대표 황철주)은 반도체·디스플레이 핵심 장비를 국산화하며 기술력으로 세계 시장을 선도하는 우리나라의 대표적인 전공정 장비 업체다.

　주성엔지니어링은 반도체 전공정용 화학기상증착장치(CVD)와 원자층증착장비(ALD), 공간분할 화학기상증착장비(SD CVD), 식각장비 등 다양한 제품을 국내외 주요 반도체·LCD 업체에 공급하고 있다. 특히 최근에는 CVD 장치의 생산성과 ALD 장치의 높은 수율을 결합한 신개념의 반도체 공정용 공간분할 화학기상증착장치를 개발했다.

　주성의 SD CVD는 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 기존 매엽식과는 달리 웨이퍼를 동시에 여러 장 처리하는 세미 배치 방식으로 회전하는 십자모양의 가스 주입기를 이용해 각 가스 주입기에서 소스·반응·퍼지 가스를 회전을 이용, 동시에 분사해 공정 단계를 줄이고 생산성을 향상시켰다. 고집적 메모리반도체나 시스템LSI 등 다양한 반도체 공정에 적용할 수 있는 것이 특징이다.

　미세회로 선폭을 구현할 수 있는 차세대 반도체용 증착장비인 ALD도 국내 주요 반도체 업체에 공급하고 있다. 이 제품은 정부가 인정하는 세계 일류상품으로 선정되기도 했다.

　또 세계 최초로 8세대 LCD용 플라즈마화학증착장비(PE CVD)를 개발, 한국·대만 등에 공급하며 세계 LCD PE CVD 시장점유율 2위 업체로 발돋움한 것을 비롯해 OLED용 유기증착 장비의 개발에도 나서는 등 디스플레이 분야에서도 선도적 업체로 도약하고 있다.

　주성의 PE CVD는 7·8세대 기판을 처리하기에 적합한 새로운 플라즈마 기술을 사용해 우수한 막증착이 가능할 뿐만 아니라 특허를 받은 설계 기법을 적용하여 체임버 크기 증대에 따른 유리기판 처리속도 저하 개선 및 생산성을 증가시켰다.

　OLED 유기 증착 장비도 ALD와 SD CVD 기술에서 확보한 기술을 활용, 세계 최초로 4세대 이상 기판에 유기막을 증착할 수 있게 한 것이 특징이다.

　주성은 올해 강력한 혁신활동을 통해 안으로 조직화, 시스템 구축, 의식개혁 작업을 마무리하고 기술력뿐만 아니라 회사 신뢰도와 인지도에서도 세계 1등에 오를 수 있도록 한다는 전략이다. 또 차세대 장치에 대한 연구개발 및 공격적인 마케팅 활동을 통해 현재의 경쟁우위를 확고히 하고 차세대 장치 시장을 선점하기 위해 주성의 모든 역량을 집중하고 있다.