삼성전자 생산기술연구소, 첨단장비 개발 `산파`

　　삼성전자 생산기술연구소(구 메카트로닉스센터)이 반도체·디스플레이 첨단 장비 개발의 산파로 주목받고 있다.

　10일 관련업계에 따르면 삼성전자 생산기술연구소는 R&D용 시제품 개발 단계를 거친 첨단 반도체·디스플레이장비 및 관련 기술을 장비업체들에 이관, 첨단장비 개발의 씨앗을 제공하고 있다. 특히 이 연구소가 개발하는 시제품 및 기술은 국산화 요구가 높거나 아직 표준이 정착되는 않은 미래 기술이어서, 삼성전자 관련 장비업계의 미래 기술력 및 사업 다각화에 기여하고 있다.

　삼성전자 생산기술연구소는 전공정장비업체인 세메스에 차세대 에처기술을 이전, 최첨단 공정의 드라이에처 국산화를 추진하고 있다. 반도체용 CVD 기술과 디스플레이용 로봇 기술 등의 이전도 진행하고 있는 것으로 전해졌다. 연구소는 또 AOI검사장비 관련 기술도 보광 계열의 휘닉스디지털테크로 이전했으며, 이 장비는 이미 상용 생산에 들어갔다.

　연구소는 앞으로 8세대, 9세대로 이어지는 디스플레이 제조용 로봇도 개발, 상용화는 관련 장비업체에 맡긴다는 계획이다.

　삼성계열 장비업체 한 관계자는 “생산기술연구소는 기술개발, 장비업계는 상용화를 통해 매출을 늘리는 바람직한 구조가 정착되고 있다”며 “연구소측에서 단순히 기술만 던져주는 것이 아니라 기술 지원을 병행하는 것으로 알고 있다”고 말했다.

　한세희기자@전자신문, hahn@