"소모성 장비·부품 시장 잡아라"

　“소모성 장비 부품 시장을 잡아라”

반도체·디스플레이 생산 장비에 들어가는 소모성 부품이 관련 장비·재료 업계의 효자 상품으로 주목받고 있다.

16일 관련 업계에 따르면 국내 주요 장비·부품 업체들은 소모성 부분품의 매출 증가 추세에 대응, 시설 투자 및 기술 개발에 적극 나서고 있다. 특히 해외 업체들이 장악한 첨단 소재 분야의 기술력과 신뢰성 확보에 주력하고 있다.

장비는 소자 업체의 투자 일정에 따라 매출 변동 폭이 큰 반면 장비에 들어가는 소모성 부품은 꾸준한 실적을 유지할 수 있는 장점이 있다. 업계 관계자는 “반도체·LCD 라인·장비의 대형화와 플라즈마·유독 가스 등의 사용 증가와 함께 소모성 부품도 이를 견딜 수 있도록 요구 사항이 까다로와지면서 부가가치가 높아진 것도 이 분야 관심이 높아진 이유”라고 설명했다.

엔트로피(대표 김문환)는 화학기상증착(CVD) 장비의 핵심 소모성 부품인 서셉터·디퓨저· 정전척(ESC) 등을 생산, 지난해 전년 대비 50% 이상 증가한 172억원의 매출을 기록했다. 이 회사는 현재 소수 일본 업체들이 독점하고 있는 LCD용 대형 ESC도 개발을 진행, 새로운 성장동력으로 삼을 계획이다. ESC는 반도체 및 LCD 제조장비의 진공 챔버 내부에 글라스나 웨이퍼가 놓이는 곳으로 정전기의 힘만으로 기판을 하부전극에 고정시키는 핵심 부품이다.

에스엔티(대표 이재홍)은 LCD 서셉터와 반도체 장비용 히터블록 등을 생산하는 메카로닉스를 인수, 기존 반도체 장비용 알루미나 세라믹 기물에서 반도체·LCD 장비용 고기능성 부품 분야로 진출한다. 코미코(대표 전선규)도 반도체용 ESC 매출이 꾸준히 증가하고 있다. 올해 ESC와 히터 등에서 2배 이상의 매출 성장을 목표로 하고 있으며 폴리이미드 등 기존 소재와 다른 세라믹 소재 제품 개발에 나섰다.

반도체 공정용 흑연 소재 부품을 생산하는 티씨케이(대표 박영순)는 고순도 흑연 제품 생산을 위해 고순화로 증설 투자를 진행 중이며 웨이퍼 캐리어 생산을 위한 실리콘카바이드(SiC) 코팅 장비도 구축했다.

한세희기자@전자신문, hahn@