머리카락 두께 약 1000분의 1 크기의 미세한 나노재료를 손쉽게 조작할 수 있는 초정밀 장치가 개발됐다.
성균관대학교 이영희 물리학과 교수 연구팀은 과학기술부와 한국과학재단 국가지정연구실 사업의 지원을 받아 전자현미경 안에서 나노재료를 관찰하면서 조작하고 동시에 특성을 분석하는 장치 제작 기술을 개발하는 데 성공했다고 13일 밝혔다.
이 기술은 나노크기의 물체를 부착할 수 있는 뾰쪽한 탐침을 붙인 두 개의 나노 팔로 나노재료를 잡아 1 ㎚의 정밀도로 3차원 방향으로 물체를 이동시킬 수 있도록 설계되어 있다.
또 뾰족한 탐침 끝에 1∼10㎚크기의 탄소나노튜브를 부착해 각종 나노재료를 조작하기 때문에 나노 소자 제작이나 전자빔, 전류 등을 이용한 나노재료의 접합 특성을 분석할 수 있는 장점이 있다.
그동안 나노재료는 기존의 실리콘 등에 비해 전기적, 역학적, 열적 특성이 우수해 의학, 반도체, 복합체, 디스플레이 등 아주 다양한 분야에 이용되고 있지만 재료 크기가 너무 작아 소자로 제작하는 데는 어려움이 많았다.
이영희 교수는 “특별한 반도체 공정없이 장치 제작이 가능해 국내·외 나노재료연구에 크게 기여를 할 것으로 기대한다”고 말했다.
대전=박희범기자@전자신문, hbpark@
