반도체·LCD 검사장비업체인 파이컴(대표 이억기 www.phicom.com)은 신개념의 차세대 반도체 검사부품인 ‘8인치(200㎜) 원터치 MEMS 카드<사진>’를 개발했다고 7일 밝혔다.
이 회사는 이미 하이닉스반도체에 1차분으로 10매를 공급했으며, 국내외 반도체업체를 대상으로 마케팅을 강화하고 있다.
8인치 원터치 MEMS 카드는 기존 MEMS 카드(1회 64칩 검사가능)가 8인치 웨이퍼 한장을 검사하는데 약 4회의 접촉이 필요한데 반해, 단 한번의 접촉만으로 웨이퍼 내 모든 칩(1회 170칩 검사가능)의 기능을 검사할 수 있다.
이에따라 기존대비 검사속도 및 생산성이 4배 이상 향상돼 반도체 칩업체들의 수율 향상 및 원가절감에 크게 기여할 것이라고 회사측은 설명했다.
이 회사 대표인 이억기 부회장은 “8인치 원터치 MEMS 카드는 최근 2개월간 고객사에서 제품에 대한 검증과정을 마쳐 제품의 신뢰성을 인정받았고, 현재 협상중인 국내외 신규고객을 대상으로 공급을 확대해 나갈 계획”이라며 “향후 12인치(300㎜) 웨이퍼를 한 번에 검사할 수 있는 제품도 개발해 출하할 것”이라고 말했다.
한편 파이컴은 지난 2년간 경쟁사인 미국 폼팩터와 벌인 특허소송에서 최근 승소판결을 받아 내, 국내는 물론 해외 수출의 심리적 걸림돌을 제거한 상태다.
심규호기자@전자신문, khsim@
