프로브카드용 고부가부품 개발 박차

반도체 생산 공정에서 테스트의 중요성이 커지면서 국내 업체들이 검사 장비의 핵심인 프로브카드 유닛에 들어가는 고부가부품 개발에 나서고 있다.

19일 관련 업계에 따르면 국내 업체들은 텅스텐·세라믹 등 핵심 소재의 기술력을 바탕으로 검사용 정밀 핀 및 핀과 검사 장비를 연결하는 스페이스트랜스포머(ST) 등을 개발, 최근 수요가 늘고 있는 반도체 검사 시장을 겨냥하고 있다.

ST 분야에선 세라믹 소재 관련 기술력을 가진 업체들이 연구를 주도하고 있다. 이 제품은 일본 NTK가 시장을 장악하고 있다.

프로브카드는 웨이퍼 상태의 반도체 칩을 검사하는데 쓰이는 제품으로 반도체 칩 전극을 전기적으로 연결하는 프로브핀, 핀과 검사 장비를 연결하는 ST, ST를 PCB와 연결하는 인터포저 등으로 구성돼 있다. 　

아이엠텍(대표 이상호 http://www.im-tech.com)은 ST의 개발이 마무리 단계이며 다음달 중 제품이 나올 것이라고 밝혔다. 이 회사는 세라믹 소재로 각종 첨단 부품을 만드는 업체로 국내 주요 검사 부품 업체들과 협력해 세라믹 ST 개발을 진행 중이다. 이 회사 윤성만 소장은 “4.5인치 크기의 제품을 우선 출시하고 향후 대형 웨이퍼용 제품도 개발할 것”이라고 말했다.

코미코(대표 전선규 http://www.komico.co.kr)도 세라믹 적층 기술과 마이크로비아홀을 적용한 ST를 최근 출시했다.

새한마이크로텍(대표 김학준 http://www.probepin.com)은 100∼150㎛ 직경의 정밀 프로브핀을 생산하고 있으며 50㎛ 제품도 일부 내놓고 있다. 또 한번에 검사할 수 있는 반도체 칩 개수를 획기적으로 늘일 수 있는 블레이드 형태의 제품도 내놓았다. 이 회사는 텅스텐 소재 기술을 프로브핀 생산에 적용하고 있다.

한세희기자@전자신문, hahn@