코미코, 반도체 검사 핵심 부품 개발

　코미코(대표 전선규 http://www.komico.co.kr)가 반도체 검사 장비의 핵심 부품인 세라믹 소재의 스페이스 트랜스포머(Space Transformer)를 개발했다고 3일 밝혔다.

　스페이스 트랜스포머는 IC칩의 성능 테스트를 위해 웨이퍼 상태의 칩 패드에 접촉해 테스트 장비와 반도체 칩 사이의 전기적 신호를 전달하는 프로브카드를 구성하는 부품이다. 프로브카드 중 반도체 칩에 직접 접촉하는 핀을 연결·고정하는 한편 전기적 신호를 검사 장비에 전달하는 역할을 한다.

　이 회사는 수천 개의 비아 홀(via hole)과 수십 미크론 수준의 간격을 유지하는 세라믹 시트를 수십 층 적층하는 적층세라믹 공정으로 4인치 웨이퍼 프로브카드용 스페이스 트랜스포머를 개발했다. 세라믹 소재 스페이스 트랜스포머는 실리콘 웨이퍼와 열 팽창 계수가 비슷하고 기계적 강도 및 내화학성이 우수해 반도체 검사 장비용으로 수요가 늘고 있으나 지금까지 대부분 일본 수입에 의존해 왔다고 회사측은 설명했다.

　코미코는 연말까지 4인치 제품의 양산에 들어가는 한편 6인치 이상 웨이퍼를 한번에 검사할 수 있는 고기능 프로브카드용 제품의 개발을 추진중이다.

　이 회사 전선규 사장은 “웨이퍼 상의 반도체 성능을 정확하게 측정할 수 있는 위치 정밀도를 갖도록 세라믹 소재를 소결하는 것이 중요하다”며 “대형 웨이퍼 검사용 부품의 국산화로 후공정 원가 중 상당 부분을 차지하는 테스트 비용 절감에 기여할 것”이라고 말했다.

　한세희기자@전자신문, hahn@