웨이퍼 메인테스터 국내 최초로 국산화

　국내 반도체산업 역사 30여년 만에 웨이퍼 주검사장비(메인테스터)가 국산화됐다. 노광장비와 함께 반도체 장비 국산화의 마지막 관문인 메인테스터는 일본의 텔·어드반테스트, 미국의 테러다인·애질런트 등이 장악해 왔다.

　22일 관련업계와 협회 등에 따르면 프롬써어티(대표 임광빈 http://www.from30.co.kr)는 웨이퍼 상태 반도체의 불량 여부와 위치를 파악하고 이를 재생하는 데 필요한 정보까지 제공해주는 ‘프롬3200’을 개발하는 데 성공했다.

　신제품은 D램보다 정밀한 검사를 필요로 하는 플래시메모리까지 대응이 가능해 D램과 플래시메모리를 모두 생산하는 종합반도체업체의 필요성을 반영했다.

　올해 세계검사장비시장은 약 56억달러로 추정되며 이 가운데 70% 이상을 메인테스터가 차지할 것으로 업계는 분석하고 있다. 업계 한 관계자는 “국내 반도체업계는 메인테스터 분야에 매년 3000억∼5000억원을 투자하고 있어 수입대체 효과가 매우 클 것”이라며, “특히 직접적인 대체 효과 이외에도 국산화에 따른 해외업체들의 단가 인하 효과까지 기대할 수 있다”고 말했다.

　반도체산업협회 한 관계자는 “그동안 한국의 반도체산업은 세계시장을 선도하는 위치로 발돋움했지만 수율 향상의 핵심인 메인검사장비를 전량 수입에 의존해 왔다”며 “이번 메인테스터 개발로 외산장비의 수입대체 효과는 물론이고 외산 검사장비로 인해 디바이스 정보의 유출 문제도 해결하는 계기가 될 것”이라고 말했다.

　프롬써어티는 300㎜ 웨이퍼 WBI와 플래시메모리용 모니터링 번인 테스터시스템(MBT) 등 보조 테스터를 국산화한 국내 주요 검사장비업체로, WBI·MBT 등의 개발 및 운용경험을 바탕으로 이번에 메인테스터 개발에 성공했다.

심규호기자@전자신문, khsim@