[나노코리아 2005]연구기관-전주나노기술집적센터

　전주나노기술집적센터(소장 남기석)는 반도체·디스플레이 분야의 나노 공정·장비 분야를 중심으로 전북 지역 나노 기술 연구개발 및 산업화를 지원하기 위해 설립됐다.

　이 센터는 우리나라 주력 수출산업인 디스플레이·반도체 산업용 전공정 장비의 높은 수입 의존도를 극복하고 관련 산업의 장비 개발 연구 및 산업화를 지원하는 것을 목표로 한다. 또 나노 공정장비 개발의 기반이 되는 기술 및 인력·장비·시설 등에 대해 원스톱 솔루션을 제공한다.

　전주나노기술집적센터는 이번 행사를 통해 중소기업 지원을 위해 센터가 보유한 다양한 장비와 기반 시설, 각종 서비스를 선보인다.

　이 센터는 중소기업들을 위한 특허분석은 물론이고, 공정 진행·공정 분석·특성 평가 등의 서비스를 지원하며 구축된 장비를 이용한 고급 기술 인력 양성 및 산업체 맞춤형 프로그램 발굴 등을 추진할 계획이다.

　이를 통해 나노 관련 재료소재 및 장비, 공정을 연구하는 기업들이 고가의 장비를 개별적으로 갖추지 않고도 관련 기술과 제품을 개발할 수 있도록 연구개발부터 산업화 지원까지 일괄 서비스를 제공하게 된다.

　전주나노집적센터는 나노반도체·디스플레이 분야 장비 및 공정개발 분야의 특화를 위해 에처, 잉크젯 프린팅 공정 등 나노 패터닝과 세정 공정 장비 개발을 위한 기반 구축에 힘을 쏟는다.

　능동형 TFT 제조를 위한 아모퍼스 실리콘 및 저온폴리실리콘(LTPS) 제조 공정, 대면적 디스플레이용 잉크젯 공정 라인 등을 갖춘 디스플레이 공정실을 갖춰 중소기업의 연구 개발을 지원한다. 또 디스플레이 공정과 소자의 특성 평가를 위한 계측 및 분석 장치, 차세대 장비 개발을 위한 서비스 시설도 구축할 계획이다.

　지난해 8월 시작된 나노기술집적센터 사업은 전주시, 전라북도 및 기업·대학·연구소 등 54개 기관이 참여한 가운데 총 781억원을 투자, 올해 공사에 들어가 2009년 서비스를 시작할 예정이다.

　 한세희기자@전자신문, hahn@