[나노코리아 2005]연구기관-나노메카트로닉스기술개발사업단

　나노메카트로닉스기술개발사업단(단장 이상록 http://www.nanomecca.re.kr)은 나노 단위 극미세 산업용 부품 제조를 위한 공정기술 및 장비 개발을 목표로 과학기술부 21세기 프런티어 연구개발 사업의 일환으로 출범했다.

　이 사업단은 나노 관련 제품을 값싸고 빠르게 대량 생산할 수 있는 나노 공정 및 장비 개발을 위해 △10∼100㎚의 나노선 및 홈 구조로 구성된 차세대 평면·입체 형상 공정 제어기술 개발 △기존 특수공정 구도의 고도화를 통한 나노 입체형상 공정 제어 기술 개발 △ 공정 기술 적용을 통한 나노 무선통신 부품·바이오센서·광부품 개발 등의 세부 과제를 추진하고 있다.

　나노메카트로닉스기술개발사업단은 이번 행사에 50㎚ 선폭을 구현할 수 있는 나노임프린트 장비를 선보인다. 이 제품은 자외선을 사용해 나노 형상을 찍어내는 장비다. 이 장비에는 복합 구동 나노 임프린트 헤드 기술과 오버레이(overlay)·정렬 기술, E빔 기반 마스크 제작 기술, 복합형상 패터닝 응용 기술 등이 적용됐다.

　또 차세대 저장 매체로 각광받는 블루레이 디스크 관련 제품을 출품한다. 이 디스크는 나노 패턴 제작 및 사출 성형 공정 기술을 바탕으로 개발된 제품으로 25Gb의 정보를 저장할 수 있다. 여기에는 UV레이저를 이용한 나노 패턴 제작 기술과 최소 구조물 150㎚급 나노 패턴의 스탬퍼 제작 기술, 나노 사출 성형 공정 기술 등 첨단 나노 메카트로닉스가 적용됐다.

　나노메카트로닉스기술개발 사업은 10년 동안 추진되는 장기 연구개발사업으로 나노공정, 나노장비, 나노공정 및 측정 기술 분야로 나누어 연구개발이 진행중이다. 산업체 7개, 대학 21개, 연구소 22개 등 총 50개 기관에서 500여명의 유수한 연구자가 참여했다.

　이 사업에는 2012년까지 매년 130억원의 연구비가 지원되며 관련 기술의 축적을 통해 2012년 이후 100억달러 이상의 시장을 선점하게 될 것으로 기대된다.

한세희기자@전자신문, hahn@