아토, 삼성전자 반도체용 PE CVD장비 납품

　아토(대표 문상영)는 삼성전자와 200㎜용 반도체 PE CVD 장비 2대 납품 계약을 체결했다고 4일 밝혔다.

계약금액은 48억4000만원으로, 지난해 매출액의 5%에 해당한다. 이 장비는 삼성전자 D램 전용라인인 9라인에 투입된다.

심규호기자@전자신문, khsim@