코스텍시스템, 반도체 웨이퍼 이송 진공모듈 개발

　코스텍시스템(대표 배준호 http://www.kosteks.com)은 웨이퍼를 교체하는 시간을 기존제품보다 절반 가량으로 단축한 반도체 웨이퍼 이송모듈을 개발했다고 3일 밝혔다.

이 제품을 이용하면 반도체 장비에서 웨이퍼를 교체하는 데 걸리는 시간이 7초 밖에 걸리지 않아 업무효율을 높일 수 있다. 또, 대형 이송모듈을 소형모듈 두 개로 나눈 형태로 만들어, 각 챔버가 반도체 세정 등의 작업이 끝마쳤을 때 대기 시간없이 웨이퍼를 즉각 교체할 수 있도록 했다.

이 제품을 모듈 의존도가 높은 매엽식 공정장비에 적용할 경우, 180초 걸리는 전체 공정이 60초로 단축됐다. 세미 배치 공정 장비에 적용해도 웨이퍼 교체 시간을 절반으로 줄여 생산성을 16% 가량 증가시켰다.

코스텍시스템은 이송시간을 줄이기 위해 정전기 엔드 이펙터를 사용했다. 정전기 효과때문에 웨이퍼를 두 배 빨리 이송해도 웨이퍼가 흔들리거나 떨어지지 않는다. 빠른 속도에도 불구하고 이 제품의 반복정밀도는 0.2㎜를 유지했다.

이 회사는 최근 이 제품을 반도체 장비업체에 공급했다.

배준호 코스텍시스템 사장은 “기존 제품은 대형 모듈 하나이지만, 코스텍시스템은 소형 모듈 두 개의 형태로 만들어 업무 효율을 극대화했다” 면서 “시간단축을 통해 생산성을 높이는 데 가장 큰 초점을 맞춰 개발했다”고 말했다.

또, 그는 “국내 기판 이송 모듈 시장은 300억 원 규모다” 면서 “이 중 80%가량을 점유하는 것이 목표이며, 올 해는 이 제품을 포함해 반도체 관련 툴 부문에서만 83억 원의 매출을 올릴 계획”이라고 말했다.

문보경기자@전자신문, okmun@