KLA텐코, 하이닉스에 웨이퍼검사장비 납품

　KLA텐코코리아(지사장 홍완철)는 65나노 이하 공정까지 대응하는 웨이퍼검사장비 ‘푸마(PUMA)-9000<사진>’을 하이닉스반도체에 납품했다고 28일 밝혔다.

　이 장비는 첨단 자외선(UV) 조명 광학기술과 고체소자 선형센서 기술을 채택, 생산성과 정확성을 높인 것이 특징이다.

　하이닉스반도체는 이 장비를 연구 개발 라인과 300㎜ 생산라인에 설치한 상태다. 이 장비는 또 이미 전세계 반도체업체에 30여대가 납품돼 있다.

　미국 캘리포니아 산호세에 본사를 둔 KLA텐코는 세계 반도체장비업계 매출순위 5위 업체로, 한국에는 영업지사인 KLA텐코코리아를 두고 있다.

심규호기자@전자신문, khsim@