반도체 및 FPD 장비업체인 세메스(대표 이승환)는 이번 전시회에 7세대(기판사이즈 1870×2200㎜) TFT LCD용 인라인 에처스트리퍼를 비롯해 △슬릿코터 △클리너(면취후세정기) △OLED 패널라인 등을 출품했다.
인라인 에처스트리퍼(Inline Etcher & Stripper)는 LCD 원판글라스 표면에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분을 케미컬(약품) 등으로 제거하는 한편 남아 있는 포토레지스트(감광액) 잔류물을 초음파, 고압 스프레이 방식으로 제거하는 식각·세정장비다.
슬릿코터는 TFT와 컬러필터 유리기판 위에 회로패턴을 형성키 위해 감광액을 균일하게 입혀 주는 장비로, 노광기·화학기상증착장비(CVD)·식각장비(에처) 등과 함께 TFT LCD 4대 핵심 전공정 장비로 분류된다.
이 회사 이승환 사장은 “그동안 도쿄일렉트론(TEL)·DNS·TOK 등 일본업체들로부터 수입에 의존해 오던 도포장비를 기존 스핀방식이 아닌 새로운 슬릿 도포방식으로 개선해 수입대체 효과를 기대하고 있다”고 말했다.
이 밖에도 클리너, OLED 패널라인 등 FPD 세정, 식각부문의 풀라인업 장비를 선보인다.
세메스는 2010년 연매출 2조원의 글로벌 기업으로 거듭난다는 마스터플랜을 세워놓고 있다. 반도체 트랙 및 세정장비를 세계 일류 브랜드로 키워 나가는 한편 드라이에처, CVD 등 핵심장비 개발에 나서 토털 장비업체로 탈바꿈할 계획이다.
