아토, LCD PE CVD 시장 진출

　반도체장비·재료업체인 아토의 문상영사장은 “3월 중에 삼성전자와 공동개발협약(JDP)을 맺고 7세대 LCD용 PE-CVD장비 개발에 본격 착수한다”고 3일 밝혔다.

　아토는 LCD용 PE-CVD 개발을 위해 2006년 초까지 90억 원을 투자하고, 양산시점에서 100억 원 이상의 자금을 추가 투입할 계획이다.

이를 통해 아토는 사업영역을 기존 반도체 중심에서 LCD 장비 분야로 확대하면서 반도체·LCD 전공정장비 전문업체로 자리매김한다는 계획이다.

아토는 이미 이 장비의 설계는 완성한 상태로 올 상반기 중에 데모장비 제조를 완료하고, 내년 말 삼성전자 탕정의 7-2라인에 양산장비를 납품할 계획이다. 이 회사는 7세대 탕정라인에 내년 1대, 2007년에는 2대의 PE-CVD를 납품한다는 목표를 세워 놓고 있으며, 이를 위해 탕정단지 또는 자사 공장 인근에 새 공장 건설도 계획하고 있다.

아토는 그동안 반도체장비에 주력해왔다. 삼성전자, 하이닉스반도체와 함께 2-3년 후 상용화될 90나노 이하급 미세공정 반도체용 PE-CVD 개발에도 본격 착수으며 미국 CVD장비업체와 기술 및 자본을 도입, 반도체용 CVD 투자를 한층 확대할 예정으로 있다.　

심규호기자@전자신문, khsim@