네패스, 미국 업체와 제휴, 마스크클리너 생산

　네패스(대표 이병구 http://www.nepes.co.kr)가 미국 사이언텍(Cyantek)과 아시아 지역 독점 제조 공급 계약을 체결, 마스크클리너 등 반도체 전공저용 세정제 시장에 진출한다.

　마스크클리너는 포토마스크 제조 공정 중 극미세회로 패턴의 형성 과정에서 불순물들을 제거하는 데 사용되는 초고순도 전자재료다.

　이 제품(제품명 나노스트립)은 낮은 온도에서 사용이 가능, 기존 세정액에 비해 사용량 및 세정 과정에서 발생하는 원료 손실을 70% 이상 줄일 수 있다고 회사측은 설명했다. 또 유독가스나 연무가 없는 것도 장점이다. 또 포토마스크 자체의 크롬 및 크롬옥사이드의 부식이 없이 포토레지스트 및 유무기 잔류 물질을 제거할 수 있다. 웨이퍼 세정액으로도 사용 가능하다.

　네패스는 이번 제휴를 기반으로 사이언텍이 보유한 다른 제품들의 국내 생산기지 역할을 통해 중장기적인 원천기술 확보도 기대하고 있다. 네패스는 향후 3년간 이 제품으로 100억원의 매출을 계획하고 있으며, 10억원 규모의 투자를 계획하고 있다고 밝혔다.

　마스크클리너 시장 규모는 국내가 150억원, 아시아 시장규모는 500억원으로 추정된다.

　한세희기자@전자신문, hahn@