반도체 핵심장비 `플라즈마 에칭` 외국기업들 특허 출원 대공세

　반도체 제조의 핵심장비인 플라즈마 에칭장비 부문에서 외국 기업들의 특허 출원 공세가 거세다.

　26일 특허청에 따르면 플라즈마 에칭장비 관련 출원이 2002년 90건에서 2003년 159건으로 무려 76.6%나 급증했다.

　내외국인별로는 내국인이 68건에서 74건으로 8.8% 증가에 그친 반면 외국인은 22건에서 85건으로 2.9배 가까이 급성장했다.

　이로 인해 2002년에는 내국인 출원이 76%에 달했으나 2003년 들어서는 47%로 급감, 53%를 차지한 외국인에 역전당한 것으로 나타났다.

　이는 최근 반도체 장비의 국산화 비율이 높아지면서 외국 기업들이 국내 업체를 견제하고, 반도체 장비 시장에 특허 장벽을 형성하기 위해 출원을 대대적으로 늘리고 있기 때문인 것으로 분석됐다.

　특허청 관계자는 “플라즈마 에칭장비의 국산화가 빠르게 진행됨에 따라 특허분쟁이 발생할 가능성도 높아지고 있다”며 “경쟁력 있는 특허 확보를 위해 관련 업체들의 적극적인 대응책 마련이 필요하다”고 말했다.

대전=신선미기자@전자신문, smshin@