HCT, 초미세먼지 입자계수기 개발

　반도체 크린룸 환경에서 5나노미터 입자까지 측정이 가능한 나노입자 측정장비가 국내 기술로 개발됐다.

　국가공인 인증·교정기관인 현대교정인증기술원(HCT 대표 이현희 http://www.hct.co.kr)은 반도체 크린룸 내 미세먼지입자를 측정·모니터링하는 ‘초미세먼지 입자계수기(나노파티클카운더)’를 개발했다고 3일 밝혔다.

　이 장비는 최소 65나노미터까지만 측정이 가능했던 기존 제품과 달리 5나노미터 수준의 초미세 입자까지 감지할 수 있을 뿐 아니라 제작비용도 매우 저렴해 관련 장비의 국산화를 가속화할 것으로 기대된다.

　이 장비는 미세먼지에 스팀을 뿌려 이를 순간적으로 냉각함으로써 나노 미세먼지를 마이크로 크기로 판독하는 원리를 채택하고 있다. 특히 스팀으로 사용하는 물질이 알코올 계통이 아닌 순수 물이어서, 반도체 크린룸 환경에 적용할 수 있다는 점도 기존 측정장비와 차별화된다. 또 기존 장비는 미세먼지 측정에 1000만원대의 레이저를 사용하지만, 이 장비는 1만원대인 레이저다이오드를 채택하고 있어 제조비용을 크게 낮출 수 있다.

　이 회사 이현희 사장은 “이 장비는 5나노미터까지 측정이 가능하기 때문에 G급·초세미공정의 차세대 반도체 개발시 유용하게 활용될 수 있다”며 “저렴한 가격과 첨단 기술을 앞세워 국내는 물론 수출도 적극적으로 추진할 계획”이라고 밝혔다.

　심규호기자@전자신문, khsim@