피에스케이, 에칭 시스템 장비 개발

　국내 유일의 반도체 전공정 애셔(Asher·감광액 제거기)장비 생산업체인 피에스케이(대표 박경수 http://www.psk-inc.com)는 2년여 간의 연구개발 끝에 애칭 시스템 장비인 TSL3000을 개발했다고 13일 밝혔다.

　이 장비는 기존 애싱 공정 상에서 쉽게 에처 기능을 수행할 수 있으며, 독립적 모듈을 적용해 생산성 및 품질 제고가 가능하다.

　이 장비는 현재 국내외 주요 고객사에서 테스트중이며, 이르면 내년 상반기에 첫 수주 계약이 가능할 것이라고 피에스케이는 밝혔다.

　피에스케이는 반도체 전공정에서 사진공정 후 사용된 감광액을 제거하는 애셔 부문의 국내 시장을 80% 이상 점유하고 있으며, 올해 세계 시장의 17% 가량을 점유할 것으로 전망된다.

　피에스케이의 양재균 연구소장은 “TSL3000은 메모리 반도체 제조 공정 중 그동안 까다로웠던 식각 및 감광액 제거 공정 후 실리콘 회복 기능을 원활히 수행해 다양한 기능이 요구되는 양질의 플래시메모리 생산에 크게 기여할 것”이라고 설명했다.

　한편 13일 여의도 코스닥증권 빌딩에서 가진 2004년 하반기 기업설명회에서 상반기 292억원의 매출과 82억원의 당기순이익을 기록했고 3분기 116억원, 4분기 83억원의 매출을 달성할 전망이어서 올해 매출은 작년대비 95% 성장한 488억원이 예상된다고 밝혔다.

　 심규호기자@전자신문, khsim@