미라이프로젝트, 차세대 반도체 계측 개발

　일본의 민·관 합동 반도체 개발 조직인 ‘미라이프로젝트’가 최첨단 반도체를 정밀 계측할 수 있는 기술을 개발했다고 니혼게이자이신문이 보도했다.

　미라이팀은 반도체 중 불순물원자의 분포를 수 나노미터(㎚·나노=10억분의 1) 수준으로 정밀 계측할 수 있는 기술을 개발했다. 이 기술은 회로선폭 45㎚급 최첨단 반도체에 적용될 예정이라고 신문은 전했다.

　이 기술은 주사형 터널전자현미경(STM)을 이용해 불순물원자 분포를 관찰하는 것으로, 연구팀은 불순물 분포를 정확히 알 수 있도록 계측 데이터 해석방법도 개량했다. 또 STM에서 조사할 수 있는 준비단계 전처리 과정을 연구해 실리콘 표면의 불화 암모늄을 처리하고 세정용 순수 물 속의 산소 농도를 없애는 방법으로 STM의 영상 착오를 줄였다. 실제 실험에서도 실리콘 원자 및 효소 원자 등 불순물이 반도체 재료 중에 분포해 있는 모습을 관찰했다.

　연구팀은 “신기술은 반도체 전류특성 등의 조사에도 이용할 수 있다”며 “우선 미라이 참가업체들 사이에서 폭넓게 적용될 것”이라고 설명했다.

　명승욱기자@전자신문, swmay@