서울대(반도체공동연구소)·경북대(반도체공정교육 및 지원센터)·전북대(반도체물성연구센터) 등 3개 반도체연구기관이 주관하는 ‘제1회 국제 나노스케일 반도체소자 워크샵’이 5월18일부터 19일 까지 이틀간 서울대학교 호암 컨벤션센터에서 열렸다. 이번 워크솝에서는 미국 외 5개국 10명의 저명인사와 13명의 국내 전문가들이 초청돼 나노 반도체구조에 대한 물리, 재료, 소자분야 연구결과를 발표 및 토의했다. 특히, 미국 버클리 대학의 킹 교수는 현 국제반도체기술로드맵 상의 소자크기 한계인 7㎚ 보다 축소된 채널 길이를 갖는 소자에 관해 발표, 주목받았다.<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>
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