기표원, 반도체소자 초정밀 나노분석방법 국제표준 제안

산업자원부 기술표준원(원장 윤교원 http://www.ats.go.kr)은 반도체 소자의 초정밀 나노분석방법을 국제표준화기구(ISO)에 국제표준으로 제안했다고 15일 밝혔다.

　이번에 제안된 규격은 X선을 이용한 비파괴분석방법에 관한 것으로 ISO TC201(나노분석) 기술위원회에서 심의될 예정이다.

　특히 이 규격은 현재 삼성종합기술원에서 반도체 등의 제품평가에 실질적으로 적용되고 있는 분석기술에 대한 것으로 5㎚이하 두께를 갖는 초집적 반도체용 박막의 비파괴 평가법이 규격화될 경우 일본·대만 등을 포함한 선진 반도체 강국에서도 수용할 것으로 보인다.

　기표원측은 “이 평가방법은 반도체 산업분야에서 수율 및 분석 정확도를 향상시키기 위해 삼성종합기술원에서 다각적인 현장시험을 통해 정립시킨 것”이라며 “이번 초정밀 나노분석방법 국제표준 제안으로 반도체 소자 분야의 국제표준을 실질적으로 이끌어 갈 수 있는 계기를 마련하게 됐다”고 말했다.

　<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>