AKT, 7세대 FPD용 CVD 시스템 출시

　평판디스플레이(FPD)용 PECVD(Plasma Enhanced CVD)장비업체인 AKT(대표 캠 로)가 PECVD 시스템 7세대 TFT LCD 패널을 양산 할 수 있는 AKT-40K PECVD 시스템을 출시한다고 15일 밝혔다.

이 시스템은 5개 공정 챔버까지 적용할 수 있으며, 시간당 60개 기판 이상을 처리할 수 있다.

7세대 기판 규격은 대략 1800mm x 2200mm (1.8미터x2.2미터) 이며 기판 당 40인치 패널8개, 혹은 46인치 패널6개까지 생산 가능하다.

세계 최대의 반도체장비업체 어플라이드머티리얼스의 자회사인 AKT는 90년대 중반 이후 매년 평균 35대 이상의 FPD용 CVD장비를 판매, 70% 이상의 시장점유율을 유지하고 있다. FPD용 CVD장비의 주 고객사는 한국·일본·대만 등의 주요 FPD 제조업체다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>