티씨케이, CVD SiC 설비 증설

　티씨케이(대표 권봉수 http://www.tck.co.kr)는 내년 4월까지 총 18억4000만원을 투자해 신규로 화학기상증착 실리콘카바이드(CVD-SiC)로를 증설한다고 23일 밝혔다.

　권봉수 사장은 “반도체 시장이 초고순도 실리콘카바이드 코팅 제품을 요구하고 있고 기존 장비로는 시장 수요를 충족하기 어려워 추가 증설을 추진했다”며 “안성 공장에는 총 3기의 CVD-SiC로를 설치할 수 있는 공장을 확보했기 때문에 증설에 따른 비용을 줄일 수 있다”고 말했다.

　CVD-SiC로는 초고순도 실리콘카바이드(SiC) 코팅 제품과 SiC 웨이퍼 및 반도체 부품 원재료의 자체 생산을 가능하게 하며 반도체 관련 부품에 광범위하게 적용할 수 있다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>