동성에이엔티, CMP패드 국산화

　동성에이엔티(대표 김진우 http://www.ds-ant.com)는 3년간의 연구개발 끝에 CMP패드를 국산화, 경기 용인에 약 600평 규모의 클린룸 및 공장을 짓고 본격 양산에 나선다 29일 밝혔다.

　이 회사가 개발한 CMP패드는 200mm와 300mm 웨이퍼용으로 다양한 계면 활성제를 선택할 수 있으며 밀도, 경도 조절이 용이하고 필터 사용없이 먼지(파티클), 긁힘 등을 방지할 수 있는 것이 특징이다.

　김진우 사장은 “지난 3년간 CMP패드 국산화에 매진, 이미 10여개 이상의 국내 관련 특허를 보유했다”며 “향후 패드 제조 원천기술을 더 확보하고 독창적인 미세 가공 형성기술을 개발해 기존 패드의 문제점인 파티클 발생을 최소화할 것”이라고 말했다.

　반도체 화학, 기계적 연마 및 평탄화(CMP:Chemical Mechanical Polishing) 공정에 쓰이는 소모품인 CMP패드는 국내 시장 규모가 약 200억∼250억원으로 추정되며 미국의 로델사가 세계시장 90% 이상 독점하고 있다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>