KERI 송재성 박사팀, 적층형 액추에이터 개발

　반도체나 정밀기계 분야에서 사용되는 각종 운반용 기기의 핵심전기기계부품인 ‘적층형 액추에이터(MCA)’가 국내 연구진에 의해 개발됐다.

　한국전기연구원(KERI·원장 권영한 http://www.keri.re.kr) 재료응용연구단 전자기소자연구그룹 송재성 박사팀은 과기부 국책 사업인 차세대소재성형기술사업단(단장 한유동)의 지원을 받아, 스마트전자(대표 조현복 http://www.smart-ele.co.kr)와 공동으로 적층형 엑추에이터 개발에 성공했다고 26일 밝혔다.

　송 박사팀이 개발한 적층형 액추에이터는 반도체와 정밀기계는 물론, 로봇 및 화학 산업 등에서 부품 또는 완성품을 원하는 장소에 정확하게 운반하게 해주는 운반용 기기의 핵심 전기기계부품이다.

　이번에 개발된 적층형 액추에이터는 10mm×10mm×22mm의 크기로 세라믹과 전극판 200매가 교번으로 형성돼 있으며 100V의 전압을 가할 경우 15㎛의 기계적 변형을 얻을 수 있다. 특히 세라믹 압전체와 내부 전극이 층상, 다층으로 형성된 구조로 이뤄져 전압을 세라믹 압전체에 가하면 기계적 변형을 얻게 되는 원리를 사용한다. 또 기존의 기계 및 전기식 모터에 비해 크기가 작은 데다가 0.1㎚의 정밀도와 10마이크로초(ms)의 응답속도를 자랑한다.

　 <창원=정재훈기자 jhoon@etnews.co.kr>