국제엘렉트릭코리아, 300mm용 LP-CVD 장비 개발

　국제엘렉트릭코리아(대표 장재영 http://www.kekorea.co.kr)는 최근 300mm 웨이퍼 가공용 화학기상증착장비(LP-CVD) 및 확산장비(모델명 QUIXACE)를 개발했다고 2일 밝혔다.

　이 장비는 반도체 제조공정중 확산 및 화학기상증착공정의 생산주기를 획기적으로 단축한 장비로 급가열 급냉각이 가능한 히터를 장착해 웨이퍼 표면 온도를 직접 관리할 수 있고 고속 반송기구를 장착, 웨이퍼 반송 시간도 획기적으로 줄일 수 있는 것이 특징이다.

　이 회사는 향후 기존 장비와 조합해 원자층 증착방식 성막장비(Batch ALD)등 신물질 증착 장비에도 적용할 예정이다.

　장재영 사장은 “올 7월부터 반도체 소자 업체와 평가 및 양산 검증을 마쳐 현재 공급 계약을 추진 중이며 올해 국내 시장규모는 약 50억원으로 추정된다”라고 말했다.

　국제엘렉트릭코리아는 최근 200mm 및 300mm 웨이퍼용 원자층 증착장비(ALD), 종형확산로(Diffusion Furnace) 등을 잇따라 소자 업체에 공급해 올 상반기(4월부터 9월까지) 매출액이 작년 동기 매출액인 104억원을 이미 초과 달성 하는 등 활발한 영업 활동을 하고 있다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>