프롬써어티, 멤스 유닛 특허 취득

　프롬써어티(대표 임광빈 http://www.from30.co.kr)가 초미세가공기술(MEMS)로 개발한 TFT LCD 검사장치인 유닛의 기술특허를 취득했다고 7일 밝혔다.

　이번에 특허를 취득한 제품은 기계적 인터페이스를 접목한 유닛(모델명 ULFP·사진)으로 완성된 TFT LCD패널에 영상신호와 전원을 보내 패널의 불량 여부를 판가름하는 검사장치다.

　회사측은 MEMS기술을 적용한 유닛이 기술특허를 받기는 이번이 처음이라고 덧붙였다.

　이 회사 관계자는 “1년여간 연구끝에 개발된 이 제품은 수작업으로 생산해온 니들타입 유닛과 달리 반도체 가공기술을 적용, 생산성이 높을 뿐 아니라 최소 20㎛ 패턴 피치까지 대응할 수 있다”며 “지난 4월 신뢰성 테스트를 끝내고 국내 한 LCD패널 제조업체 양산라인에 도입됐다”고 말했다.

　이 회사는 이번 특허 취득을 계기로 반도체용 검사장치인 콘택터(contactor)도 MEMS로 개발키로 하고 관련기술에 대해 특허출원했다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>