주성엔지니어링, 하이닉스에 ALD 공급

　주성엔지니어링(대표 황철주·트렁 도운)은 하이닉스반도체에 20억원 상당의 원자층증착(ALD)장비 공급계약을 체결했다고 1일 밝혔다.

　ALD장비는 반도체소자의 경박단소화에 따라 균일하고 순수한 박막을 저온에서 얻기 위해 개발된 장비로 종전 화학기상증착(CVD)장비를 대체할 차세대 장비로 평가받고 있다.

　주성측은 0.10미크론(㎛)급 이하 소자제조 공정을 중심으로 ALD의 사용이 급속히 확대될 것으로 기대되는 데다 이미 하이닉스반도체를 통해 자사 장비의 안정성 및 성능이 검증됐다는 점에서 시장전망이 매우 밝다고 설명했다.

　주성엔지니어링 황철주 사장은 “이번 하이닉스와의 계약체결로 기존 주력제품이던 CVD는 물론 최근 2년간 심혈을 기울여 개발한 ALD 공정 분야에서도 기술력을 입증받았다”며 “올해를 종합 장비메이커로 거듭나는 해로 삼겠다”고 말했다.

<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>