에스엔티(대표 이재홍 http://www.snt.co.kr)는 최근 국산화에 성공한 실리콘카바이드(SiC) 튜브를 생산할 수 있는 설비투자를 이달 말까지 완료하고 올 3분기부터 300㎜ 웨이퍼용 튜브와 보트를 양산할 예정이다.
SiC는 실리콘(Si)을 20% 이하로 포함한 초고순도 반응소결법으로 제조돼 내열성이 좋고, 열팽창률이 낮아 열교환기, 정밀기계부품 및 웨이퍼 코팅용 저압화학기상증착(LP CVD) 공정에 쓰이는 것으로 그동안 일본 아사히그라스와 도시바세라믹스가 약 500억원으로 추정되는 국내시장을 독차지해 왔다.
에스엔티는 30억원을 투자, 경기 평택공장에 400평 규모의 공장증설을 이달 말까지 완료하며 내년부터 이 부분에서만 약 30억원의 매출을 올릴 것으로 기대하고 있다.
이 사장은 “그동안 쿼츠, 알루미나, 실리콘 등 파인세라믹 생산기술을 바탕으로 신소재인 실리콘카바이드 사업에 뛰어들었다”며 “웨이퍼용 튜브와 보트 외에도 이를 응용한 신규사업 진출도 고려 중”이라고 말했다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>
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