프롬써어티,멤스 기술도입 프로버유닛 양산

　프롬써어티(대표 임광빈 http://www.from30.co.kr)는 초소형미세가공시스템(MEMS·멤스) 기술을 이용한 TFT LCD 검사장치 프로브 유닛(모델명 ULFP)을 개발, 양산에 들어갔다고 19일 밝혔다.

　멤스기술을 이용한 이 제품은 60㎛ 피치(pitch)까지 검사할 수 있는 기존 니들 타입의 프로브 유닛에 비해 정밀도가 3배 이상 높아져 20㎛ 피치까지 대응할 수 있다.

　멤스기술을 도입한 프로브 유닛 개발은 지난달 파이컴에 이어 이번이 두 번째다.

　임광빈 사장은 “이번에 개발된 제품은 보다 작은 피치에도 대응할 수 있는 것이 가장 큰 특징”이라며 “현재 LCD 제조업체로부터 테스트를 끝내고 양산라인 수주를 받은 상태여서 월 10대 이상을 판매할 수 있을 것”이라고 말했다.

　이 회사는 멤스기술 기반 프로브 유닛 양산을 계기로 일본·대만 등 해외시장 공략에도 본격 나선다는 계획이다.

　한편 프로브 유닛은 개발이 완료된 TFT LCD 기판에 전기적 신호를 보내 불량유무를 확인하는 후공정용 검사장치다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>