LG실트론, 에피웨이퍼 라인 100% 증설

　LG실트론(대표 정두호 http://www.lgsiltron.co.kr)은 에피웨이퍼 라인을 100% 증설, 회사의 한 축으로 성장시킬 계획이라고 11일 밝혔다.

　정두호 사장은 “에피웨이퍼는 웨이퍼 공정을 단축시키는 장점도 있어 사용이 늘어나는 추세”라며 “300㎜ 실리콘웨이퍼, SOI웨이퍼에 이어 회사의 차세대 제품으로 집중 육성할 계획”이라고 말했다.

　이 회사는 구미 3공장의 150㎜ 및 200㎜ 에피웨이퍼 생산능력을 올 3분기까지 월 5만장에서 10만장으로 늘릴 계획이며 300㎜ 에피웨이퍼도 현재 개발을 완료하고 월 3000장 규모로 시생산 중이다.

　에피웨이퍼는 반도체 종류에 따라 다양한 구조로 제작이 가능하고 웨이퍼 표면의 미세 결함을 제어해 반도체 제조 후에도 산화막 특성을 개선할 수 있는 장점이 있다.

　LG실트론은 에피웨이퍼 시장이 150㎜ 이하 소구경 및 비메모리 반도체를 중심으로 형성돼 있으나 향후 웨이퍼의 대구경화 및 메모리의 고집적화에 따라 에피웨이퍼 사용이 늘어날 것으로 보고 증설을 추진해 왔다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>