반도체 검사 장비업체인 프롬써어티(대표 임광빈 http://www.from30.co.kr)는 300㎜ 웨이퍼 번인 테스트 시스템인 ‘SF-3000’을 국내 최초로 개발, 양산에 들어갔다고 24일 밝혔다.
‘SF-3000’은 고온의 환경에서 보통 사용 전압보다 높은 전압을 웨이퍼에 흘려보내 이상 유무를 판단하는 장비다.
특히 그동안 패키지로 제작된 칩을 주로 검사하던 번인 시스템과 달리 웨이퍼 레벨 상태에서 검사가 가능해 제작공정 단순화와 경비절감 효과가 뛰어나다.
이 회사의 임광빈 사장은 “국내에서 300㎜ 웨이퍼용 번인 시스템 개발하기는 이번이 처음”이라며 “삼성전자가 이 시스템을 도입중이고 하이닉스반도체를 비롯한 일본·대만·미국 반도체업체도 생산성 향상을 위해 웨이퍼 번인 시스템의 도입을 검토하고 있어 시장전망이 매우 밝은 편”이라고 말했다.
이 회사는 웨이퍼 번인 시스템 개발에 이어 플래시메모리용 모니터링 번인 테스트 시스템(MBT) 개발에 착수하는 등 반도체 검사장비 개발 및 연구에 전념하고 있다.
<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>
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