한국디엔에스, 삼성전자에 장비 공급

　반도체 장비업체인 한국디엔에스(대표 임종현 http://www.kdns.co.kr)는 최근 삼성전자 12라인에 차세대 웨트스테이션인 K-WET300과 SWP3004, 포토공정용 트랙장비 K-SPIN12 등을 공급했다고 밝혔다.

　웨트스테이션은 반도체 제조과정에서 발생하는 미립자와 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하거나 감광액 등의 식각에 사용되는 세정·건조설비다.

　또 트랙장비는 반도체 포토공정에 사용되는 핵심설비로 웨이퍼 표면에 고집적 미세회로를 형성하기 위해 감광액을 도포하고 노광한 후 형성된 패턴을 현상하는 설비다.

　이 회사의 임종현 사장은 “이번에 삼성전자에 공급한 300㎜ 장비 모두 가격과 기술경쟁력을 가지고 있지만 특히 세정장비 SWP3004의 경우 국산화에 따라 연간 300억원 이상의 수입대체 효과는 물론 오스트리아 세즈가 독점하던 IBM·인텔·NEC 등을 공략할 수 있는 기회를 얻게 됐다”고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>