일진엔지니어링, 차세대 LCD용 반송세정시스템 개발

　LCD장비 및 클린룸 제조 전문업체 일진엔지니어링(대표 이재천 http://www.ije21.com)은 일본 제일시설공업과 공동으로 6세대 이후 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 기판용 반송 세정장비<사진>를 개발했다고 17일 밝혔다.

　이 장비는 TFT LCD 기판 크기가 ‘1800×2000㎜’ 이상으로 커질 6세대 이후 대형 기판의 중간이 처지는 현상과 파손·반송 위험을 줄일 수 있는 것이 장점이다. 또 접촉면에 공기를 넣어 비접촉식으로 반송할 수 있는 기술을 적용, 기판과 장비의 직접 접촉으로 인한 오염과 손상을 획기적으로 줄일 수 있다.

　일진측은 이 장비가 대형 공장 및 클린룸 구축에 따른 투자비용 증가를 막기 위해 수평 반송방식이 아닌 수직 반송방식을 적용했다고 설명했다.

　이재천 사장은 “6세대 이후에는 유리기판 크기가 커서 반송 및 세정에 큰 어려움을 겪을 것으로 예상된다”며 “수직 반송시스템을 적용, LCD업계로부터 좋은 반응을 모을 것으로 기대하고 있다”고 말했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>