한국다우코닝, CVD 실리콘 프리커서 출시

　

　

　한국다우코닝(대표 황경수 http://www.dowcorning.co.kr)은 차세대 구리배선 공정에 필요한 박막증착용 가스인 화학증착법(CVD) 실리콘 프리커서(모델명 Z4MS, ZTOMCATS, Z2DM)를 출시했다고 23일 밝혔다.

　이 제품은 하드마스크, 구리배선필름 등을 얇은 필름 절연막에 넣는 차세대 반도체 구리배선 화학증착 공정에 쓰이며 무색·무부식·무발화성의 유기 액상이다.

　황경수 사장은 “이 제품은 가격이 저렴하고 순도가 높다”며 “다국적 화학회사 슈마허(schumacher)를 통해 공급하게 될 것”이라고 말했다.

<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>