아토, 공업용 특수가스 시장 진출

　반도체장비 제조업체 아토(대표 문상영 http://www.ato.co.kr)는 충북 청원 소재 오창과학산업단지에 약 60억원을 투자해 1만4500여㎡(4400여평) 규모의 반도체용 고순도 특수가스 공장을 올 8월 완공, 공업용 특수가스 시장에 진출한다고 4 일 밝혔다.

　아토는 이 공장이 완공되는대로 아산화질소를 비롯해 암모니아(NH3)·탄산 등 정제원리가 비슷한 다른 특수가스도 양산하기로 하고 현재 별도 사업부로 돼 있는 특수가스사업을 향후 별도 법인으로 독립시킨다는 방침이다.

　아토측은 “반도체가 점점 미세화·집적화됨에 따라 ‘식스9’(99.9999%) 이상의 고순도 특수가스의 필요성이 점차 증가하고 있다’며 "반도체장비사업과 특수가스사업이 시너지 효과를 가져올 것”으로 기대했다.

　지난해 고순도 아산화질소(N2O)를 생산하는 정제기술을 확보해 시제품을 출시한 아토는 사업다각화의 일환으로 특수가스시장에 진출하게 됐는데, 이는 국내 업체로는 대백신소재의 NF3 제조에 이은 두번째다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>