포토마스크 보호박막(pellicle:펠리클) 제조업체 화인반도체기술(FST·대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 미국의 최대 포토마스크 제조업체 포트로닉스(Photronics)와 펠리클 공급계약을 추진, 협상이 거의 마무리 단계에 이르렀다고 19일 밝혔다.
이 계약이 성사되면 포트로닉스의 전체 펠리클 수요 물량의 약 10%, 금액으로는 연간 200만∼300만달러 상당의 극자외선(DUV:Deep Ultra Violet) 펠리클 공급을 맡게 된다고 회사측은 설명했다.
FST는 이에 앞서 펠리클 수출을 위해 미국 캘리포니아에서 열린 ‘세미 웨스트’ 등 주요 해외 전시회에 참가하는 등 대외 홍보에 주력해 왔다.
펠리클은 포토마스크 표면을 대기중의 분자나 오염으로부터 보호하는 얇고 투명한 막이다.
<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>
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