케이맥, 웨이퍼 매핑 측정 시스템 개발

사진; 케이맥이 처음 개발한 미세영역의 두께지도측정시스템인 ST-Map-8000.

　반도체나 TFT LCD, PDP 등의 첨단산업에서 사용하는 웨이퍼의 미세패턴 크기를 0.2㎛까지 측정할 수 있는 두께지도(mapping)측정시스템이 국내 벤처기업에 의해 개발됐다.

　대덕밸리 물성분석전문회사인 케이맥(대표 이중환 http://www.kmac.to)은 그동안 2㎛이던 미세영역의 측정 한계를 0.2㎛로 10배 이상 향상시킨 미세영역 두께지도측정시스템(ST-Map-8000)을 개발했다고 9일 밝혔다.

　이번에 개발된 시스템은 기존의 광간섭식 박막두께측정기에서 받아들인 이미지를 다시 미세영역으로 분할해 동시에 여러 지점을 측정하도록 고안된 것으로 한번에 일정영역내 여러 지점의 두께를 조감할 수 있는 획기적인 장치다.

　이 원리를 이용하면 스테이지를 움직이지 않고도 웨이퍼 박막의 전체적인 2차원 매핑이 가능, 측정시간을 대폭 단축할 수 있다. 또 점차 미세패턴화돼 가고 있는 반도체나 TFT LCD 공정라인에서의 실시간 모니터링도 가능하다.

　케이맥은 이번에 개발한 기술로 국제특허를 출원하고 국내 대기업의 주문을 받아 시제품을 제작중이다.

　이중환 사장은 “세계적인 박막두께측정제조사인 미국의 나노메트릭스사보다 월등한 제품”이라며 “국내공급에 들어갈 경우 50억∼70억원의 매출달성은 거뜬할 것”이라고 말했다.

　<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>