AKT,5세대 TFTLCD제조용 플라즈마화학증착 장비 첫 개발

　국내외 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 업체들의 5세대 기판 규격에 대응한 설비투자가 본격화된 가운데 핵심장비인 플라즈마화학증착(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비가 등장, 눈길을 끌고 있다.

　평면디스플레이패널 제조용 PECVD시스템업체인 AKT는 최근 5세대 기판에 대응하는 TFT LCD 제조용 신장비인 ‘AKT 15K PECVD’를 개발했다고 AKT코리아(대표 이한수)가 30일 발표했다.　

　이 장비는 1100×1200㎜ 크기의 유리기판에 실리콘 박막을 입힐 수 있으며 5개의 프로세서 체임버를 채택해 시간당 50장 이상의 기판을 처리, 생산성이 높다. 또 비정질실리콘이나 산화실리콘, 질산화실리콘, 질화실리콘, 다중증착공정 등 다양한 애플리케이션에 적용할 수 있다. AKT는 이 장비를 내년 하반기부터 본격 공급할 예정이다.

　캄 로 AKT 사장은 “1.3㎡ 크기의 기판을 처리하는 이 장비를 사용할 경우 기존 4세대 기판(700×900㎜)용 장비에 비해 15인치 패널을 2.5배, 17∼21인치 패널을 1.5배 정도 더 많이 생산할 수 있어 경제적”이라고 말했다.

　<신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>