반도체 장비 원천기술 다국적기업에 수출 `기염`

　대덕밸리 벤처기업이 세계적인 다국적 반도체 장비 제조업체에 원천기술을 수출하는 개가를 올렸다.

　반도체 전공정장비 제조 벤처기업인 지니텍(대표 이경수 http://www.genitech.co.kr)은 네덜란드의 다국적 반도체 장비 업체인 ASM(http://www.asm.com)사와 ‘플라즈마 원자층 증착기술(PEALD)’ 및 ‘구리 바닥채움 화학증착기술(Cu Superfill CVD)’에 대한 기술 라이선스 계약과 장비 공동 개발·공급에 관한 포괄적인 협력 계약을 체결했다고 23일 발표했다.

　이번에 ASM사에 수출한 2가지 기술은 지니텍이 최근 국제특허를 획득한 반도체 관련 원천기술로, 지금까지 전세계 반도체 전공정 장비 시장의 주류를 이루는 박막(薄膜) 장비 시장을 대체할 획기적인 기술로 꼽히고 있다.

　이번 계약에 따라 지니텍은 자체개발한 2가지 기술을 제공하는 조건으로 ASM사로부터 수백만달러의 초기 기술료를 3년 동안 분할 지급받게 되며 특히 구리 바닥채움 화학증착기술 특허권에 대해서는 별도로 경상 기술료를 제품 판매량에 따라 지급받는다.

　또 이번 기술이전으로 개발된 장비에 대해 한국시장 영업권은 지니텍이, 한국을 제외한 전세계 영업권은 ASM사가 갖게 된다.

　지니텍이 이번에 ASM사로부터 받게 되는 경상기술료는 통상 제품당 3%를 훨씬 상회하는 것으로 알려져 반도체장비시장을 고려하더라도 오는 2005년까지 최소 2000억원대의 매출을 올릴 것으로 예상된다.

　특히 이번 계약으로 지니텍은 마케팅과 생산 노하우, 개발 자금, 네트워크를 ASM사로부터 제공받아 급속 성장의 발판을 구축하게 되고 ASM은 지니텍의 기술을 배타적으로 사용해 명실상부한 세계 최고의 반도체 장비 회사가 되는 기반을 마련하게 될 것으로 회사 관계자는 보고 있다.

　이경수 대표는 “이번 계약은 규모가 작은 벤처기업도 원천기술을 갖고 있으면 기술 수출을 통해 막대한 기술료를 받을 수 있는 선례가 됐다는 점에서 의미가 크다”고 말했다.

　한편 ASM사는 네덜란드에 본사를 둔 반도체 장비제조 다국적 기업으로 네덜란드와 미국·일본·핀란드·홍콩 등에 생산 공장을 보유하고 있으며 지난해 매출이 10억 달러에 이르는 반도체 분야에서 세계 10위권에 드는 업체다.

　<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>