반도체 장비 제조업체 셀라이트(대표 홍성균 http://www.selight.co.kr)는 자체 개발한 반도체용 금속오염 검사장치 ‘TIMS-2000’을 일본의 반도체 장비업체 도쿄엘렉트론에 수출한다고 4일 밝혔다.
‘TIMS-2000’은 반도체의 핵심 제조공정 중 하나인 웨트공정시 사용되는 각종 화학물질의 금속이온 오염을 자동으로 측정, 화학물질의 수명을 최적화함으로써 반도체 생산수율을 극대화시키는 장비다. 또 이 장비는 메모리와 비메모리의 구분 없이 모든 반도체의 생산공정에 적용할 수 있고 300㎜ 웨이퍼 공정에서도 적용이 가능하다.
도쿄엘렉트론은 이 장비를 셀라이트로부터 공급받아 일본을 비롯한 미국·유럽국가의 소자업체들을 대상으로 판매할 예정이다. 이에 따라 셀라이트는 도쿄엘렉트론의 판매대상국을 제외한 우리나라와 아시아권 기타국가 등에서만 판매활동을 벌인다.
셀라이트가 도쿄엘렉트론에 공급할 장비의 규모는 연간 최소 60대로 대당 1억원 가량인 점을 고려하면 최소 60억원 이상의 장비수출이 가능하며 공급물량은 도쿄엘렉트론이 담당하는 전세계 소자업체들의 구매동향을 살펴 점차적으로 늘린다는 계획이다.
셀라이트의 홍성균 사장은 “국내 및 대만, 일본, 미국, 유럽 등지에 특허를 출원했으며 전세계 소자업체들이 장비의 성능 및 기능에 대해 좋은 평가를 내리고 있어 향후 1년간 200억원 이상의 매출은 무난할 것으로 예상된다”고 말했다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>
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