300MM웨이퍼 프로버 국산화 활기

　지름 300㎜인 대형 웨이퍼의 불량 유무를 검사하는 프로버(prober)의 국산화 작업이 빨라지고 있다.

　20일 업계에 따르면 올들어 쎄믹스와 이스트테크놀리지 등이 300㎜ 웨이퍼 프로버를 선보인 데 이어 아이랩·한국도와 등도 하반기중에 300㎜ 웨이퍼를 내놓아 시장경쟁에 가세할 예정이다.

　국내업체들은 200㎜ 웨이퍼 프로버에서 시장진입이 늦어 미국의 일렉트로글라스, 일본의 TSK·도쿄엘렉트론 등과의 격차를 좁히지 못했으나 막 시작하는 300㎜ 웨이퍼 프로버에서는 기술격차가 좁혀져 있어 국산화가 활발한 편이다.

　업계는 특히 원가경쟁력을 높이기 위해 국산 장비를 구입하려는 소자업체를 적극 공략하는 한편, 이를 발판으로 해외시장도 개척할 방침이어서 수입대체와 수출확대의 효과를 거둘 것으로 기대했다.

　쎄믹스(대표 유완식 http://www.semics.com)은 5억원의 연구비를 투입해 올해 초 300㎜ 웨이퍼 프로버를 개발, 세미콘코리아 2001 전시회에 출품한 데 이어 최근에는 삼성전자 시스템LSI부문과 필드테스트를 진행중이며 이르면 오는 9월께 첫 상용제품을 출시할 계획이다. 　

　작년 2월에 설립된 이스트테크놀리지(대표 김태성 http://www.east-tech.co.kr)는 200㎜는 물론 300㎜ 웨이퍼도 검사할 수 있는 프로버를 개발해 삼성전자와 시험가동에 필요한 데모작업을 진행중이다. 지난해 하이닉스반도체로부터 분사한 아이랩(대표 서성원)은 프로토 타입의 300㎜ 웨이퍼 프로버 두대를 제작해 하이닉스 이천공장에서 시험공급했으며 6월 말께 현장에서 최종시험을 거친 후 오는 9월께 국내외 시장을 공략할 예정이다. 　

　한국도와(대표 박신용 http://www.towak.co.kr)도 최근 시제품을 개발해 삼성전자와 최종 성능평가작업에 들어가 오는 9월께 양산제품을 국내외에 공급할 계획이다.

　업계 관계자는 “300㎜ 장비의 경우 장비 상용화 시점간의 격차를 최소화했기 때문에 국내업체도 승산이 있다”며 “300㎜ 장비 시장이 활발할 내년에는 국산 점유율이 상당히 높아질 전망”이라고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>