코닉시스템 300㎜ 웨이퍼용 급속열처리장비 출시

코닉시스템(대표 정기로 http://www.kornic.co.kr)이 12인치 웨이퍼용 급속열처리장비인 「코로나(KORONA) RTP1220A」를 개발했다고 4일 밝혔다.

이 제품은 두층으로 구성된 선형 텅스텐 할로겐 램프를 사용, 온도 대역이 400∼1300도이며 방사율보상(emissivity compensation) 기술을 사용, 웨이퍼 뒷면에 손실을 주지 않는다는 장점을 갖고 있다.

또한 웨이퍼 로테이션(rotation) 기능이 추가돼 웨이퍼내에서의 균일성이 크게 개선됐고 양산공정사고 방지를 위해 특허출원중인 온도감시(temp-monitoring) 기능을 사용했으며 자체 기술로 개발한 구동 소프트웨어인 이지클러스터(Easy Cluster)를 적용했다.

코닉시스템은 올중반기 이후 삼성전자에 이 제품을 공급할 예정이다.

<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>