케이맥, LCD용 두께측정장치 개발, 삼성납품

물성 분석을 전문으로 하는 대덕밸리 벤처기업 케이맥(대표 이중환 http://www.kmac.to)은 액정표시장치(LCD) 등의 투명한 기판 위에 형성된 박막의 두께를 측정하는 장비를 처음 개발, 삼성전자에 납품했다고 21일 밝혔다.

이번에 개발된 다층박막 두께 측정 장비는 기판의 상면뿐만 아니라 투명한 기판의 배면 및 배면에 형성된 박막간의 경계면에서 반사되는 반사광의 영향까지 고려해 제작된 것으로 박막트랜지스터(TFT) LCD와 같은 투명 기판상의 박막 두께 측정에 적합하다.

케이맥은 또 TFT LCD의 휘도 품질에 큰 영향을 미치는 셀 간격(cell gap)을 측정하는 장비도 함께 개발했다.

이들 투명박막 측정시스템과 셀갭 측정 장비는 기존 수입품에 비해 가격이 저렴하면서도 측정 속도가 빨라 실시간에 가까운 측정이 가능한데다 측정 범위가 넓은 것이 장점이다.

이에 따라 케이맥은 향후 지속적인 성장이 예상되는 LCD 등 박막 디스플레이 제조 분야에서 연간 수백억원대의 수입대체효과를 얻을 수 있을 것으로 기대하고 있다.

또 케이맥은 연내 이들 제품에 자동측정 기능을 추가한 인라인용 자동화 측정 장비도 개발, 출시할 예정이다.

이중환 사장은 『반도체용 웨이퍼 및 금속 등 불투명한 기판 위에 형성된 박막의 두께를 측정하는 장비로 개발된 「에스티(SpctraThick)2000-디럭스」의 경우는 LG·마이크론 등에 납품, 호평받고 있다』며 『올해는 연간 수천억원대에 이를 것으로 전망되는 대만 등 세계 시장 진출에 주력할 것』이라고 말했다.

<대전 ＝ 박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>