아이세미콘, 반도체 제조공정용 결함 분석툴 공급 착수

반도체 제조 관련 소프트웨어 전문업체인 아이세미콘(대표 이재근 http://www.isemicon.com)이 자체 개발한 반도체 제조공정용 결함 분석 소프트웨어 「DefecterⅡ」의 공급에 나섰다.

이 회사는 최근 아남반도체에 반도체 제조공정 결함분석 소프트웨어를 첫 공급한 데 이어 삼성전자·현대전자에도 공급할 예정이라고 17일 밝혔다.

아울러 최근 미국 현지 2개 업체와 제품판매 대리점 계약을 맺은데 이어 곧 일본·대만에도 대리점을 개설할 계획이라고 덧붙였다.

이 회사가 국내외에 특허 출원한 이번 「DefecterⅡ」는 반도체 제조공정중 발생하는 결함을 분석, 결함으로 손실되는 칩의 수를 분석하고, 이 분석정보를 이용해 손실공정·장비·공정구간을 파악하는 소프트웨어다.

특히 이 제품은 12단계의 분석 알고리듬을 통해 반도체 제조공정중 결함에 의한 영향을 절대치로 제시해 정확히 분석할 수 있으며 결함에 의한 수율손실비용과 결함관리비용을 약 20%까지 절감할 수 있다.

이재근 사장은 『반도체 제조공정에서는 반도체 수율과 특성에 치명적인 영향을 미치는 각종 결함이 발생하고 있다』며 『이 제품은 기존 해외 유수 웨이퍼 검사장치와 달리 반도체 칩 결함에 따른 수율손실 칩 수 및 유형별 불량칩 수까지 측정함으로써 반도체 수율향상에 기여할 것으로 기대된다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>