아펙스, 기가 D램급 반도체 제조용 Ru-MOCVD장비 개발 및 공급

반도체 제조용 장비업체인 아펙스(대표 김상호 http://www.apexsemi.com)는 기가(giga)급 메모리반도체 제조용 루테늄(Ru)박막 유기화학증착(MOCVD) 공정장비를 개발, 현대전자에 내년 2월까지 1대를 공급하기로 계약을 맺었다고 14일 밝혔다.

이 회사가 자체 개발한 Ru-MOCVD 장비는 Ru을 원료로 액체상태의 유기금속원료를 사용하며, 웨이퍼상에 Ru박막 증착을 위한 반응 체임버, 원료를 반응 체임버에 공급하기 위한 원료공급장치, 반응 체임버의 압력제어를 위한 진공 시스템 등으로 구성돼 있다.

아울러 이 회사는 장비의 원료 공급부에서 액체상태의 원료를 기체상태로 변화시키는 기화장치(vaporizer)와 기화된 원료를 반응 체임버에 균일하게 공급할 수 있도록 고안한 샤워헤드(shower head) 등을 독자기술로 해결했다고 밝혔다.

김상호 사장은 『256M D램 제조용 장비 개발 경험을 바탕으로 기가급 메모리 제조용 장비를 개발함으로써 차세대 고집적 메모리반도체 양산라인에 적용이 예상되는 공정 및 장비 기술을 선점, 앞으로 연간 500억원의 수입대체 효과와 수출기회가 있을 것으로 기대된다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>